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法布里-珀罗干涉仪原理图 |
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原理：利用待测表面与参考平面直接反射光干涉，用于光学表面平整度检测。 |
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斐索干涉仪原理图
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2.2 按测量目标分类 |
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（1）位移/长度干涉仪 |
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测量目标位移（纳米级精度），如机床导轨校准。 |
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（2）波前/面形干涉仪
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检测光学元件表面误差（如透镜、反射镜的λ/10精度）。 |
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（3） 折射率/气体干涉仪 |
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通过光程差变化反演介质折射率，如空气折射率补偿。 |
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2.3 按信号处理方式分类 |
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（1）零差干涉仪 |
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直接检测干涉光强，结构简单但易受噪声影响。 |
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（2）外差干涉仪 |
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引入频率差（如声光调制），通过拍频信号提高抗干扰能力（如半导体制造中的精密定位）。
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3.典型应用领域 |
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3.1工业制造与计量 |
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数控机床、光刻机的位置反馈（纳米级重复定位精度）。 |
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光学元件面形检测（如望远镜镜片、手机镜头模组）。 |
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激光干涉仪的数控机床重复定位
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3.2科学研究 |
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引力波探测（迈克尔逊干涉仪）。 |
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等离子体密度测量（马赫-曾德尔干涉仪）。 |
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激光干涉引力波天文台(LIGO)
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3.3生物医学 |
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光学相干断层扫描（OCT），利用低相干光干涉实现生物组织微米级成像。 |
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激光干涉光学相干断层扫描
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3.4环境监测 |
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大气湍流分析、气体浓度检测（通过折射率变化）。 |
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激光抗大气湍流传输研究
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3.5半导体工业 |
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晶圆厚度测量、光刻对准（双频激光干涉仪）。 |
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激光干涉仪的光刻对准研究
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4.CNI典型的干涉用激光器 |
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CNI可提供高可靠性窄线宽、单纵模（单频）激光器，具有模式稳定、相干长、噪声低、光束质量好等特点，是干涉应用的理想选择。
具体详情，请点击www.cnilaser.com/ www.cnilaser.net 了解。 |
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CNI单纵模（单频）、窄线宽激光器典型产品
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紫外 |
蓝光 |
绿光 |
黄光 |
红光 |
红外 |
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261、266、320、
335、349、355、
360nm等 |
405、445、450、457、473nm等 |
509、515、532、540、550nm等 |
552、556、561、577、589nm等 |
607、633、639、
660、671、698、720nm等 |
785、1064、
1030、1342、1550nm |
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激光干涉仪通过巧妙的光路设计和信号处理，实现了从宏观到微观的极致测量，应用场景覆盖工业、科研、医疗等高端领域，未来将进一步向高精度、抗干扰、多功能方向发展。 |
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