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266
nm 深紫外激光器 |
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CNI自主研发生产的266
nm全固态深紫外激光器，涵盖连续波与脉冲两大系列，具备低噪声、高稳定性、窄线宽、优异光束质量及高运行可靠性。
其中，266 nm全固态连续深紫外激光器光谱线宽＜0.2
nm，功率稳定性＜0.5%，最高输出功率可达1.5 W；266 nm全固态脉冲深紫外激光器单脉冲能量最高5 mJ，脉冲宽度＜10 ps。产品支持风冷与水冷两种散热方案，可实现
7×24 小时不间断运行，系统支持OEM 集成，并支持内外触发控制。广泛应用于光谱分析、生物荧光检测、半导体检测、科学研究及精密测量等领域。
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特点 |
应用 |
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连续/脉冲激光
连续输出功率高达1.5W
长期稳定性和可靠性优异（<0.5%)
单脉冲能量可达5 mJ
峰值功率最高可达500 kW
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半导体材料/晶圆缺陷检测
量子光学
紫外光刻
光致发光和荧光激发
拉曼光谱研究
DNA测序
拉曼光谱
污染物检测 |
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主要参数 |
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266nm高稳定性深紫外连续激光器 |
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型号 |
输出功率
(mW) |
光谱线宽
(nm) |
功率稳定性
(rms,4
小时+3°C |
特性 |
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UV-DP-266-B |
1~1500 |
<0.2 |
<0.5% |
水冷 |
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266nm被动调Q脉冲深紫外激光器 |
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型号 |
平均功率(mW) |
单脉冲能量 |
重复频率 |
脉宽 (ns) |
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MPL-Q-266 |
1~30 |
0.1~3uJ |
3-12kHz |
-1.3 |
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MPL-Q1-266 |
10 |
10uJ |
1kHz |
-1 |
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MPL-FN-266 |
1~15 |
1~8uJ |
10Hz~3 kHz |
-0.6 |
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MPL-S-266-LP |
1-15 |
1-15uJ |
1 Hz-1 kHz |
-0.4 |
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MPL-S-266-HP |
6~100 |
1~80uJ |
10 Hz-100
kHz |
-0.4 |
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266nm主动调Q脉冲深紫外激光器 |
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型号 |
平均功率(mW) |
单脉冲能量 |
重复频率 |
脉宽 (ns) |
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AO-S-266 |
1~10 |
1~5uJ |
1Hz-5kHz |
-4 |
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AO-S-266-H |
1~20 |
1~20uJ |
1 Hz-1 kHz |
-9 |
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AO-Mini-E-266 |
1~30 |
1~12uJ |
1 Hz-10 kHz |
~8@2.5kHz |
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AO-266A |
100~200 |
4~7uJ |
20-200 kHz |
~10@30kHz |
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AO-U-266 |
200~400 |
60~80uJ |
1-10kHz |
~15@3 kHz |
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AO-266W |
500~2000 |
10~15uJ |
50-200
kHz |
~10@50 kHz |
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AO-U-532& 266 |
1~3W &
200~400 |
500~1000uJ/&60~80uJ |
1-10kHz |
~10@3 kHz |
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EO-S-266-RS |
1~50 |
1~40uJ |
10 Hz-10 kHz |
~1.3 |
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EO-266W |
3000 |
60uJ |
10-100kHz |
<5 |
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EO-266-G |
100-2500 |
4~100uJ |
1 Hz-25 kHz |
<9@1 kHz |
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EO-266-Subnano |
1~100 |
1~100uJ |
1-5kHz |
<2ns@1kHz |
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EO-266-N |
100~3700 |
4~150uJ |
1 Hz-25 kHz |
<5@1 kHz |
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EO-266-P-Subnano |
2~220 |
1-110µJ |
500 Hz-2 kHz (可选) |
<1 |
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EO-266-Subnano-Hi |
1~2.5W |
1~500uJ |
100Hz-10kHz |
<1.5ns@5KHz/ ~2ns@5KHz |
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DPS-266-Neoma |
100~300
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1-3mJ |
1-100Hz
(可调节) |
<12 |
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DPS-266-Q |
200~500 |
2~5mJ |
1-100Hz
(可调节) |
<10 |
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266nm皮秒脉冲深紫外激光器 |
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型号 |
平均功率(mW) |
单脉冲能量 |
重复频率 |
脉宽 (ns) |
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DPS-266-Pico |
100~500 |
10~100nJ |
5MHz |
＜50 |
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PS-D-266-Air |
1~100 |
0.1~4uJ |
1 kHz-10 MHz |
~10 |
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PS-D-266 |
1~5W |
1~12uJ |
400 kHz-1
MHz |
＜10 |
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266nm光纤深紫外激光器 |
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型号 |
平均功率(mW) |
单脉冲能量 |
重复频率 |
脉宽 (ps) |
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FL-266-PS |
1~10 |
0.02~0.5nJ |
20-50MHz |
＜10 |
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FL-266-Pico |
1~50 |
0.05~500nJ |
100kHz-20MHz |
50-900(固定） |
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FL-266-Nano |
1~50 |
1~500nJ
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100kHz-1MHz |
0.5-50(固定） |
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测试数据 |
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中心波长:
266.955nm@UV-DP-266-B
线宽:9.2pm@ UV-DP-266-B |
输出功率:222.5mW@
UV-DP-266-B
功率稳定性<1%@UV-DP-266-B |
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